measuring equipment

光谱共焦测量设备

一束白光,经过一系列光学透镜形成锥形聚焦,由于组成白光的各个波长的折射率不同,每个波长会位于不同位置汇聚,当照射到被测物体后,反射光的光谱成分可以对应非常精确的距离值

特点:
一种非接触式测量技术
可测量透明体或不透明体
可测量二层/多层结构厚度,可测距
可进行表面3D形貌测量和重建

类别 项目 规格参数
适用物体 适用制程 高精度测距,3D重建及测量,逆向工程
尺寸范围 200mm×40mm-320mm×450mm
测量厚度 ±6mm(可定制)
物体材质与颜色 玻璃、陶瓷、金属、半导体;各种导体
共焦系统 型号 DHCG-1,CGL-12
工作距离 70mm±6mm
Z轴分辨率 25um
倾角适应度 90°±15°
机械系统 X/Y驱动系统 交流伺服电机+精密研磨滚珠丝杆
夹板方式 双边自动夹具
定位精度 8um
移动速度 700mm/s(Max)
轨道调整 手动
软件系统 操作系统 Windows7
界面语言 中,英文可选界面
检测结果输出 3D重建图像,数据
电源规格 AC220±10%,50/60HZ,1KW
环境温度 -10-40°
环境湿度 -10-85%RH(无凝霜)
外形尺寸 900mm×1000mm×1180mm,